在一些集成电路的精密机械车间中，对于无尘车间的洁净程度更加严格。甚至空气中的温度是需要控制在正负不超过二摄氏度的范围，原因在于集成电路的零部件极1小，微小的温差极可能带来零部件的膨胀或者收缩，净化实验室造价，直接影响到成品率。
因此无尘车间前需要建设一定面积的缓冲区域，在人员、设备和物料进入无尘车间之前需要先在缓冲区域进行初步的清洁，保证其上含有的污染物被清除，不会对车间内的环境造成负1面的影响。这种缓冲区域称之为风淋车间。
环保和节能一直都是各个行业生产和开发侧重的目标，无尘净化车间建设长期以来注重的都是室内的清洁，往往忽略了节能和对外界的环保概念。
随着无尘净化车间产业的渐渐壮大，各个厂家开始将目光转向节能环保的目标，各种措施和手段也开始渐渐实施。
从无尘净化车间的设计来说，各个厂家已经开始注重从车间的样式设计开始考虑对能源的节约。只要特点为降低外墙的建筑面积、采用隔热性能和密封性能较好的建筑材料。这些措施从节流的方面做到了节能的效果。
其次，对于无尘净化车间整体面积的缩小也开始实施。整体建设面积的变小使得室内的送风换气量出现明显的下降，净化实验室，既满足了室内洁净度更高的要求，净化实验室施工，也达到了节能减排的效果。既注重了无尘净化车间本身的节能，也估计了对外界环境的环保。
10万级无尘车间标准：压差。相同洁净度等级的洁净室压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。这主要是为了保障空气从洁净区流向非洁净区，避免气流倒灌。
10万级无尘车间标准：温湿度。温度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%，夏季洁净室湿度控制在50-70%。对温度、湿度无特殊要求时，以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜。
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