无尘车间设计噪音的控制:
1、声压级应该根据人员的舒适和安全及环境(如其它设备)产牛的背景声压级来选择需要的声雎级。洁净室.漫施标准的A-1J权声压级范围在55 dB - 65 dB。有些应用可能要求的级别较低,或能容忍较高的级别。噪声控制的测量应该按照IS0 3746进行。
2、洁净室设施巾振动是个需要考虑的重要问题,凶为它对工艺、人的舒适和设备及系统的有效使用期限都会产生不利的影响。
3、净化车间设计安装中应通过采用风机和振动控制设备等方法尽可能减少振动,或把振动源隔离。
4、如要求控制振动,无尘净化车间,应按IS0 1940-1和IS0 10816-1规定允许的级别。
5、无尘车间设计应该考虑节能措施,如在没有任何活动时减少或关闭温度和湿度控制,降低空气流速。但应能够在规定的自净期内恢复到使用条件。
进入无尘车间前之注意事项
1、任何人进入无尘车间作业或观赏,须依规则换穿无尘衣。
2、非经无尘车间主管许可不得将私人物品(手提袋、书本等)及非洁净室所运用之东西携入无尘车间;维修用之手册及东西在用毕后应立即收起。
3、原物料进无尘车间时,需先在外面拆箱及拭净,并置于货品风淋室携入无尘车间。
4、无尘车间、办公区均为禁烟区,若有吸烟,须于抽后并漱口后,方可进入无尘车间。
5、在无尘车间内,不得饮食、嬉闹,车间净化工程,或从事其它与出产无关的事情。
6、进入无尘车间者应坚持身体洁净,净化车间,头发应常梳洗,并制止运用香水及化妆品。
7、进入无尘车间内不得穿着短裤及布鞋、袜子。
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
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