工业生产的自然环境湿度是影响空气环境质量的重要因素。很多工业产品必须在规定湿度下才能生产出来。无尘车间的温湿度既要满足工艺生产要求，又要满足人的舒适度，温湿度等级根据洁净度的要求进行调整。就苏州工业园区电子厂房净化工程而言，在大规模集成电路进行生产光刻曝光过程中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。　湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

无尘车间都要通过保持室内静压高于非洁净区的静压，来防止污染，内外压力差需要保持：洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力；相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间；洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

1、无尘净化车间工程必须与各工种间制定严格的施工程序，一般依次为：留洞打底、各安装、内门窗安装、修补洞口及周边，基层打底，饰面抹灰和罩面板工程，嵌缝处理，油漆刷浆工程和裱糊工程。

2、在无尘净化车间装修施工过程中，必须随时清扫灰尘，对隐蔽空间(如吊顶和夹墙内部等)还应做好清扫工作;

3、密封胶嵌固前，洁净车间施工，应将基槽内的杂质，油污剔除干净，并保持表面干燥。无尘车间工程临时设置的设备入口不用时应封闭，洁净车间，防止尘土杂物进入。

4、应保护已完成的净化车间工程表面，不得因撞击，敲打，踩1踏，洁净车间装修，多水作业等造成板材凹陷，暗裂和表面装饰的污染。塑料板材或卷材面层铺贴前应预先按规格大小，厚薄分类，板材或卷材与地面之间应满涂粘接剂，表面赶平，不得漏涂或残存空气。

5、施工现场应保证良好的通风和照明，化工洁净车间，对于改建工程，应查明和切断原有电源及易1燃，易1爆和有毒气体管线后方可施工，对工艺生产过程中使用的腐蚀性液体应有安全防护措施。

6、对已安装过滤器的房间，不得进行有粉尘的作业。